資料顯示，合肥至微半導體于2018年11月注冊成立，注冊資本2億元人民幣。此前，至純科技公告稱，其子公司至微半導體（上海）有限公司在合肥設(shè)立子公司（即合肥至微半導體），主要為了布局晶圓再生業(yè)務(wù)及電子產(chǎn)業(yè)相關(guān)設(shè)備的研發(fā)和生產(chǎn)，子公司成立后，將為晶合、長鑫等集成電路企業(yè)客戶配套提供測試片、擋控片等晶圓的研磨再生服務(wù)。