據(jù)外媒報道，三星正致力于推動光刻膠供應(yīng)多元化的實現(xiàn)，計劃在今年之內(nèi)導(dǎo)入Inpria的無機光刻膠，目前已經(jīng)完成性能評估，有望應(yīng)用于5nm超精細工藝制程。