日前，合肥經(jīng)濟技術開發(fā)區(qū)管理委員會網(wǎng)站發(fā)布關于對合肥至匯半導體應用技術有限公司半導體濕法設備制造項目（一期）環(huán)境影響評價文件擬作出審批意見的公示。

 

△Source：合肥經(jīng)開區(qū)網(wǎng)站截圖

 

據(jù)披露，合肥至匯半導體應用技術有限公司將在合肥經(jīng)濟技術開發(fā)區(qū)建設半導體濕法設備制造項目（一期），項目總投資1.8億元，投產(chǎn)后可年產(chǎn)30臺年產(chǎn)批次式半導體濕法清洗設備和10臺單片式半導體濕法清洗設備。

 

天眼查顯示，合肥至匯半導體應用技術有限公司成立于2019年，注冊資本1000萬元，是上海至純潔凈系統(tǒng)科技股份有限公司的全資子公司，經(jīng)營范圍包括半導體設備、機械設備、自動化設備、計算機及輔助設備、配電開關控制設備制造、銷售、維修、調(diào)試及技術服務；工業(yè)自動化科技、計算機科技、半導體科技領域內(nèi)的技術研發(fā)、技術咨詢、技術轉(zhuǎn)讓、技術服務等。
 

據(jù)悉，該項目最早可追溯至2019年。

 

2019年5月，至純科技發(fā)布公告稱，為順應我國半導體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，擬募集資金總額不超過3.56億元，扣除發(fā)行費用后將用于半導體濕法設備制造項目和晶圓再生基地項目，而負責半導體濕法設備制造項目的實施主體正式合肥至匯。

 

△Source：至純科技公告截圖

 

公告顯示，半導體濕法設備制造項目建設周期為2年，建成后，主要開展批次式半導體濕法清洗設備和單片式半導體濕法清洗設備的生產(chǎn)制造。