日前，合肥經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)管理委員會網(wǎng)站發(fā)布關(guān)于對合肥至匯半導(dǎo)體應(yīng)用技術(shù)有限公司半導(dǎo)體濕法設(shè)備制造項目（一期）環(huán)境影響評價文件擬作出審批意見的公示。

 

△Source：合肥經(jīng)開區(qū)網(wǎng)站截圖

 

據(jù)披露，合肥至匯半導(dǎo)體應(yīng)用技術(shù)有限公司將在合肥經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)建設(shè)半導(dǎo)體濕法設(shè)備制造項目（一期），項目總投資1.8億元，投產(chǎn)后可年產(chǎn)30臺年產(chǎn)批次式半導(dǎo)體濕法清洗設(shè)備和10臺單片式半導(dǎo)體濕法清洗設(shè)備。

 

天眼查顯示，合肥至匯半導(dǎo)體應(yīng)用技術(shù)有限公司成立于2019年，注冊資本1000萬元，是上海至純潔凈系統(tǒng)科技股份有限公司的全資子公司，經(jīng)營范圍包括半導(dǎo)體設(shè)備、機械設(shè)備、自動化設(shè)備、計算機及輔助設(shè)備、配電開關(guān)控制設(shè)備制造、銷售、維修、調(diào)試及技術(shù)服務(wù)；工業(yè)自動化科技、計算機科技、半導(dǎo)體科技領(lǐng)域內(nèi)的技術(shù)研發(fā)、技術(shù)咨詢、技術(shù)轉(zhuǎn)讓、技術(shù)服務(wù)等。
 

據(jù)悉，該項目最早可追溯至2019年。

 

2019年5月，至純科技發(fā)布公告稱，為順應(yīng)我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，擬募集資金總額不超過3.56億元，扣除發(fā)行費用后將用于半導(dǎo)體濕法設(shè)備制造項目和晶圓再生基地項目，而負責(zé)半導(dǎo)體濕法設(shè)備制造項目的實施主體正式合肥至匯。

 

△Source：至純科技公告截圖

 

公告顯示，半導(dǎo)體濕法設(shè)備制造項目建設(shè)周期為2年，建成后，主要開展批次式半導(dǎo)體濕法清洗設(shè)備和單片式半導(dǎo)體濕法清洗設(shè)備的生產(chǎn)制造。