近日，北京經開區(qū)企業(yè)北京科翰龍裝備技術股份有限公司（以下簡稱“科翰龍”）自主研發(fā)的晶圓打碼機WM-SC800R通過驗收。

 

北京亦莊消息稱，這是國內首臺通過FAB廠（通常指半導體工廠）驗收的具有自主知識產權的晶圓(Wafer)ID打碼設備。晶圓(Wafer)ID打碼設備實現從“零”的突破，并突破了“卡脖子”環(huán)節(jié)，在自主可控道路上邁出關鍵一步。

 

圖片來源：北京亦莊

 

據了解，晶圓(Wafer)ID打碼設備新產品通過驗收是一個十分漫長的過程。兩年前，晶圓打碼機WM-SC800R就在FAB廠的8英寸集成電路晶圓生產線上進行晶圓(Wafer)ID軟打碼測試及試生產。檢測結果優(yōu)良，該晶圓打碼機所加工的晶圓(Wafer)ID碼完全達到了SEMI（半導體設備與材料的國際性組織）標準的要求，達到了用戶關于軟打碼顆粒數的要求，完全達到了ISO 1級環(huán)境下的要求。

 

經過兩年的測驗，今年8月，晶圓打碼機WM-SC800R正式通過驗收。

 

北京亦莊消息顯示，科翰龍副總經理王向陽表示，為了打破國外公司在相關領域的長期壟斷，科翰龍利用自己的技術優(yōu)勢研發(fā)了晶圓(Wafer)ID打碼設備。WM-SC800R在激光器的選用、光路的設計、晶圓定位的方法、設備結構設計以及設備的整體控制及軟件編程上都是自主設計開發(fā)的，具有完全的自主知識產權。

 

王向陽強調，無論是在知識產權還是設備主要部件方面，WM-SC800R都做到了自主可控，不易被國外卡脖子。