9月20日上午，寧波潤平電子材料有限公司控股企業(yè)——寧波平恒電子材料有限公司的半導體芯片制造用CMP拋光液項目正式投產(chǎn)。

據(jù)悉，該項目主要生產(chǎn)氧化鈰拋光液、金屬鎢拋光液、氧化物拋光液、多晶硅拋光液四大類產(chǎn)品，其中的多晶硅拋光液，從拋光顆粒到最終產(chǎn)品，實現(xiàn)了全鏈路100%國產(chǎn)化，對保障中國半導體材料產(chǎn)業(yè)鏈的安全和穩(wěn)定具有重大意義。

“我們常說的5納米、3納米芯片，背后其實就離不開拋光液。”寧波潤平電子材料有限公司董事長惠宏業(yè)指著實驗室內(nèi)龐大的生產(chǎn)設備，自豪地說道。

在半導體芯片的制造過程中，半導體硅片（以下簡稱晶圓）會歷經(jīng)刻蝕、離子注入等多重工藝步驟。經(jīng)這些工藝處理后，晶圓表面會變得凹凸不平，并產(chǎn)生多余的表面物。為了實現(xiàn)晶圓表面的平坦化，就需要借助專用設備對晶圓進行多次拋光處理。這一過程被業(yè)界稱為CMP，即化學機械拋光。在此過程中，拋光液作為不可或缺的重要材料，對提升最終芯片的性能起著至關(guān)重要的作用。“我們的產(chǎn)品采用了先進的納米顆粒技術(shù)，具備高純度、高穩(wěn)定性等特點，各項拋光性能全面對標國際主流產(chǎn)品。”惠宏業(yè)提到。

據(jù)了解，CMP拋光液在國際市場上長期被美國和日本的相關(guān)企業(yè)所壟斷，特別是在2008年以前，我國約90%的拋光液都依賴于進口。“對采購商來說，國產(chǎn)CMP拋光液不僅有更明顯的價格優(yōu)勢，還意味著更安全的供應條件，能夠?qū)崿F(xiàn)長期穩(wěn)定的供應。

”惠宏業(yè)說。經(jīng)過多家客戶技術(shù)驗證，潤平電子已于今年7月獲得了首張量產(chǎn)訂單。“預計該項目今年產(chǎn)值能達3000萬，接下去在滿產(chǎn)的情況下，全年能實現(xiàn)3億的產(chǎn)值。”惠宏業(yè)對未來充滿信心，“我們始終把創(chuàng)新作為企業(yè)發(fā)展的‘終極動力’，CMP拋光液項目只是一個新的起點。”

作為寧波陽明工業(yè)技術(shù)研究院培育的企業(yè)，該公司先后獲評國家科技型中小企業(yè)、浙江省科技型中小企業(yè)等稱號，拋光液項目成功入選寧波市“2022年甬江人才計劃”和余姚市“2021年姚江英才計劃”。目前，該公司研發(fā)團隊已吸納多位CMP拋光材料領(lǐng)域的國內(nèi)外專家，累計申請專利105項，已授權(quán)32項，其中發(fā)明專利6項、實用新型專利26項，擁有核心自主知識產(chǎn)權(quán)。