近日，《中國科學：信息科學》英文版（SCIENCE CHINA Information Sciences）2024年第76卷第10期發(fā)表了電子科技大學的研究成果，文章題為“HF-VHF NEMS resonators enabled by 2D semiconductor ReSe2”，電子科技大學王曾暉、夏娟、朱健凱、徐博為通訊作者，基礎與前沿研究院為第一完成單位。該研究得到了國家杰出青年科學基金、國家自然科學基金原創(chuàng)探索計劃等項目的支持。

二維半導體為構建新型納米器件提供了大量機會，作為其中的代表二硒化錸ReSe2已在二維激光、晶體管和光電探測器等領域取得了一系列進展。研究者們通過干法轉移技術，制備了從單層到超百層的30余個圓形ReSe2鼓膜諧振，器件工作在高頻-超高頻范圍。在進一步對器件諧振的實驗數(shù)據(jù)進行總結和分析后，研究人員們成功確定了二維ReSe2晶體的楊氏模量為110GPa，并確立了ReSe2納米機電器件的頻率設計規(guī)律。上述成果有望為新型ReSe2納米器件的設計及其應用提供重要的指導，并推動二維ReSe2納米機電器件的發(fā)展。

ReSe2的晶體結構，基于1-3層ReSe2材料的納米機電器件，及此類器件的頻率設計規(guī)律和二維ReSe2晶體的楊氏模量提取。

論文鏈接：https://doi.org/10.1007/s11432-024-4047-2