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汪洋：半導(dǎo)體用SiC涂層石墨托盤的制備與國產(chǎn)化

視頻WBSC 20212025-03-11 17:59

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《半導(dǎo)體用SiC涂層石墨托盤的制備與國產(chǎn)化》作者：汪洋，萬強(qiáng)單位：湖南德智新材料有限公司，南京工業(yè)大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)院

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