日前，芯源微披露其定增預(yù)案，擬向特定對象發(fā)行股票數(shù)量不超過公司總股本的30%，即本 次發(fā)行不超過2520萬股，募集總金額不超過10億元（含本數(shù)），扣除發(fā)行費用后的凈額將用于上海臨港研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化項目、高端晶圓處理設(shè)備產(chǎn)業(yè)化項目（二期）、補充流動資金。

圖片來源：芯源微公告截圖

 

其中，上海臨港研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化項目位于上海閔行經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)臨港園區(qū)。本項目預(yù)計建設(shè)期為30個月，由公司全資子公司上海芯源微企業(yè)發(fā)展有限公司實施。本項目計劃總投資額為6.40億元，擬投入募集資金4.70億元，其余以自籌資金投入。本項目建成并達產(chǎn)后，主要用于研發(fā)與生產(chǎn)前道ArF光刻工藝涂膠顯影機、浸沒式光刻工藝涂膠顯影機及單片式化學清洗機等高端半導體專用設(shè)備。

 

高端晶圓處理設(shè)備產(chǎn)業(yè)化項目（二期）位于遼寧省沈陽市渾南區(qū)。本項目預(yù) 計建設(shè)期為30個月，計劃總投資額為2.89億元，擬投入募集資金2.30億元，其余以自籌資金投入。本項目建成并達產(chǎn)后，主要用于前道I-line與KrF光刻工藝涂膠顯影機、前道Barc（抗反射層）涂膠機以及后道先進封裝Bumping制備工藝涂膠顯影機。

 

為滿足公司日益增長的運營資金需要，本次募集資金中的3.00億元擬用于補充流動資金。本次募集資金補充流動資金將用于支持公司持續(xù)推出新產(chǎn)品、滿足公司產(chǎn)業(yè)擴張需求等。

 

公告指出，公司主要從事半導體專用設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，產(chǎn)品包括光刻工序涂膠顯影設(shè)備（涂膠/顯影機、噴膠機）和單片式濕法設(shè)備（清洗機、去膠機、濕法刻 蝕機），可用于8/12英寸單晶圓處理（如集成電路制造前道晶圓加工及后道先進封裝環(huán)節(jié)）及6英寸及以下單晶圓處理（如化合物、MEMS、LED芯片制造等環(huán)節(jié)）。公司專注于高端半導體專用設(shè)備領(lǐng)域，通過持續(xù)的技術(shù)研發(fā)和供應(yīng)鏈建設(shè)，不斷開拓新產(chǎn)品、新領(lǐng)域，提升公司的核心競爭力。本次募集資金投資項目圍繞公司主營業(yè)務(wù)展開，對公司現(xiàn)有業(yè)務(wù)起到了補充和提升的作用，符合公司發(fā)展戰(zhàn)略。

 

上海臨港研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化項目建設(shè)后，公司將在前道先進制程設(shè)備研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)進一步突破，推出更高工藝等級的前道涂膠顯影設(shè)備與清洗設(shè)備產(chǎn)品，進一步強化公司在高端設(shè)備領(lǐng)域的技術(shù)優(yōu)勢并豐富產(chǎn)品結(jié)構(gòu)。高端晶圓處理設(shè)備產(chǎn)業(yè)化項目（二期）建成后，公司將擴充前道晶圓加工及后道先進封裝環(huán)節(jié)涂膠顯影設(shè)備產(chǎn)能，滿足業(yè)務(wù)規(guī)模快速增長的需求，進一步提升公司的盈利能力和綜合競爭實力。

 

此外，基于行業(yè)當前發(fā)展趨勢和競爭格局的變化，公司近年來不斷擴大的業(yè)務(wù)規(guī)模，未來幾年公司仍處于成長期，生產(chǎn)經(jīng)營、市場開拓、研發(fā)投入等活動中需要大量的營運資金。通過本次發(fā)行募集資金補充流動資金，可在 一定程度上解決公司因業(yè)務(wù)規(guī)模擴張而產(chǎn)生的營運資金需求，緩解快速發(fā)展的資金壓力，提高公司抗風險能力。

 

據(jù)公告介紹，經(jīng)過多年的積累，公司在光刻工序涂膠顯影設(shè)備和單片式濕法設(shè)備領(lǐng)域已具備一定的客戶優(yōu)勢。

 

在集成電路前道晶圓加工環(huán)節(jié)，公司生產(chǎn)的前道涂膠顯影設(shè)備在多個關(guān)鍵技術(shù)方面取得突破，已陸續(xù)獲得了上海華力、中芯紹興、廈門士蘭集科、上海積塔、株洲中車、青島芯恩、中芯寧波、昆明京東方等多個前道客戶訂單及應(yīng)用。

 

公司生產(chǎn)的集成電路前道晶圓加工領(lǐng)域用單片式清洗 機Spin Scrubber設(shè)備通過持續(xù)的改進、優(yōu)化，已經(jīng)達到國際先進水平并成功實現(xiàn)進口替代，已在中芯國際、上海華力、廈門士蘭集科等多個客戶處通過工藝驗證，并獲得國內(nèi)多家Fab廠商的批量重復(fù)訂單。