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思特威成功開發(fā)國(guó)產(chǎn)自研高端BSI工藝平臺(tái)

日期:2022-04-29 來(lái)源:半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)網(wǎng)閱讀:299
核心提示:近日,思特威與合肥晶合集成合作推出了國(guó)產(chǎn)自研高端BSI工藝平臺(tái)。
近日,思特威與合肥晶合集成合作推出了國(guó)產(chǎn)自研高端BSI工藝平臺(tái)。
 
在CMOS圖像傳感器小像素尺寸與高分辨率的市場(chǎng)趨勢(shì)下,BSI(Back SideIllumination)即背照式入射受到市場(chǎng)的重視和需求。相較于前照式入射方案,BSI將光線入射方向改至光電二極管的背面,可大幅提升 CMOS 圖像傳感器的量子效率,降低電路光學(xué)串?dāng)_,同時(shí)解決了像素尺寸微小化和擴(kuò)大光學(xué)視角響應(yīng)方面的重要難題,進(jìn)而實(shí)現(xiàn)極佳的暗光成像品質(zhì)。
 
據(jù)悉,早在2020年,思特威就已與晶合集成攜手成功推出了DSI工藝平臺(tái)并實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)。為了繼續(xù)提升產(chǎn)品性能,2021年思特威開始進(jìn)行本土BSI背照式先進(jìn)工藝平臺(tái)的研發(fā),在多項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)工藝上取得突破性成果,創(chuàng)新推出了國(guó)產(chǎn)高端BSI工藝平臺(tái)。此次思特威攜手晶合集成推出的國(guó)產(chǎn)自研高端BSI平臺(tái)通過(guò)晶圓鍵合技術(shù)、晶圓減薄技術(shù)以及硅表面鈍化技術(shù)等三大關(guān)鍵工藝,可為當(dāng)下智視應(yīng)用提供一流的暗光成像性能。
 
據(jù)思特威官方消息,該BSI高端工藝平臺(tái)搭載晶圓鍵合技術(shù),采用直接鍵合方式降低鍵合過(guò)程中晶圓畸變的產(chǎn)生,大幅提升其鍵合力,實(shí)現(xiàn)高像素性能;同時(shí),為實(shí)現(xiàn)更好的BSI光電二極管結(jié)構(gòu),藉由思特威開發(fā)優(yōu)化的晶圓減薄技術(shù),可在晶圓研磨減薄中最大程度減少硅的損耗,保障超高精度并將硅襯底厚度成功減薄,而且對(duì)于850nm與940nm的近紅外增強(qiáng)也做了工藝優(yōu)化,保障了晶圓強(qiáng)度并實(shí)現(xiàn)出色的感光性能;此外,該平臺(tái)還采用了業(yè)內(nèi)前沿工藝材料打造硅表面鈍化技術(shù),避免了晶片拋光后對(duì)光電二極管的損壞,進(jìn)一步減少白點(diǎn)與暗電流的產(chǎn)生,提升CIS的暗光成像表現(xiàn)。 
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