用于半導體制造裝備的氮化鋁陶瓷加熱底盤，是高端氮化鋁精密陶瓷的一大“卡脖子”產(chǎn)品，世界范圍內(nèi)只有京瓷等少數(shù)幾家國外企業(yè)能生產(chǎn)，目前華清電子材料也實現(xiàn)了突破。這種加熱底盤是作為半導體工藝腔室中的晶圓加熱器，對產(chǎn)品純度要求極高，具有高導熱性和耐等離子體性能，且熱量分布均勻，從粉體制備到陶瓷成型燒結(jié)和后段加工等一系列工序的把控要求都非?？量?。
氮化鋁陶瓷加熱底盤
華清生產(chǎn)的氮化鋁陶瓷加熱底盤，實現(xiàn)了400mm超大尺寸的突破，同時具有高導熱性（180W/m·K），可實現(xiàn)快速加熱和快速冷卻功能。從掃描電鏡圖片看，華清生產(chǎn)的氮化鋁陶瓷內(nèi)部晶粒粒徑均勻，無明顯晶粒偏大現(xiàn)象，能實現(xiàn)熱量均勻性分布，無溫差現(xiàn)象，可應(yīng)用于半導體設(shè)備（PVD,CVD, ALD,ETCH，顯影機等）關(guān)鍵核心零部件。
微觀組織結(jié)構(gòu)SEM照片
福建華清電子材料科技有限公司是氮化鋁陶瓷基板的標桿企業(yè)，產(chǎn)銷量均位于全球前列。華清電子材料成立于2004年，引進清華大學新型陶瓷與精細工藝國家重點實驗室科研成果。目前已申請專利80多項，獲得授權(quán)50多項。廠房面積約4萬平米，現(xiàn)有員工人數(shù)近500人。在精密陶瓷領(lǐng)域，公司擁有博士領(lǐng)銜的強大的陶瓷材料研發(fā)團隊。公司配置了國際先進的陶瓷生產(chǎn)、機械加工和檢測設(shè)備，擁有流延成型，注射成型，干壓成型，冷等靜壓成型，溫等靜壓成型等多種成型設(shè)備和成熟工藝，可以為客戶提供最佳工藝方案。同時，還擁有獨立的實驗室和分析檢測中心，可為客戶提供定制化開發(fā)和快速分析檢測服務(wù)。公司生產(chǎn)的精密陶瓷產(chǎn)品，主要包括氮化鋁和氧化鋁陶瓷兩種材料，產(chǎn)品遠銷美國、日本、韓國、俄羅斯等國家以及中國臺灣等地區(qū)。
