2022年12月30日，湖南株洲市舉行項(xiàng)目集中開(kāi)竣工儀式。其中，竣工項(xiàng)目包括半導(dǎo)體用碳化硅蝕刻環(huán)項(xiàng)目。據(jù)株洲日?qǐng)?bào)報(bào)道，該項(xiàng)目總占地面積約60畝，總投資約2.5億元，項(xiàng)目投產(chǎn)后年產(chǎn)值約15000萬(wàn)元。對(duì)于該項(xiàng)目的投建方，該報(bào)道并未指明。

碳化硅蝕刻環(huán)是半導(dǎo)體材料在等離子刻蝕環(huán)節(jié)中的關(guān)鍵耗材，在半導(dǎo)體芯片產(chǎn)業(yè)鏈上是一種不可或缺的重要材料。株洲高新區(qū)2022年6月消息顯示，湖南德智新材料有限公司半導(dǎo)體用碳化硅蝕刻環(huán)項(xiàng)目完成了主體工程建設(shè)，并預(yù)計(jì)在明年初投產(chǎn)。該項(xiàng)目總投資約2.5億元，主要用于半導(dǎo)體用碳化硅蝕刻環(huán)的研發(fā)、制造。

據(jù)官方介紹，德智新材料成立于2017年，是一家專(zhuān)業(yè)從事碳化硅納米鏡面涂層及陶瓷基復(fù)合材料研發(fā)，生產(chǎn)和銷(xiāo)售的高新技術(shù)企業(yè)。消息指出，2018年，德智新材落戶(hù)動(dòng)力谷自主創(chuàng)新園。隨后，德智新材自主設(shè)計(jì)的國(guó)內(nèi)最大化學(xué)氣相沉積設(shè)備完成調(diào)試投入使用。這個(gè)設(shè)備能在高溫、高真空環(huán)境下合成鏡面納米碳化硅涂層。目前，“德智新材”成為國(guó)內(nèi)最大單晶太陽(yáng)能生產(chǎn)企業(yè)——隆基股份等龍頭企業(yè)的供貨商，并與吉林大學(xué)、中南大學(xué)等高校建立長(zhǎng)期合作關(guān)系。