寬禁帶半導(dǎo)體GaN能夠在更高電壓、更高頻率以及更高的溫度下工作,在高效功率轉(zhuǎn)換,射頻功放,以及極端環(huán)境電子應(yīng)用方面具有優(yōu)異的材料優(yōu)勢。近日,“2023功率與光電半導(dǎo)體器件設(shè)計(jì)及集成應(yīng)用論壇”將于西安召開。論壇由第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟(CASA)指導(dǎo),西安交通大學(xué)、極智半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)網(wǎng)(www.jycsgw.cn)、第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)主辦,西安電子科技大學(xué)、中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所、第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟人才發(fā)展委員會、全國半導(dǎo)體應(yīng)用產(chǎn)教融合(東莞)職業(yè)教育集團(tuán)聯(lián)合組織、西安和其光電股份有限公司等單位協(xié)辦。
期間,“平行論壇1:功率半導(dǎo)體器件設(shè)計(jì)及集成應(yīng)用”上,中國科學(xué)院微電子研究所研究員黃森帶來《Si基GaN功率器件制備技術(shù)與集成》的主題報(bào)告,分享最新技術(shù)研究進(jìn)展與成果。
報(bào)告中介紹,美國國防部高級研究計(jì)劃局(DARPA)將GaN列為改變世界的13大技術(shù)之一。國家十四五規(guī)劃“集成電路”專欄明確要求發(fā)展碳化硅,氮化鎵等寬禁帶半導(dǎo)體。發(fā)展GaN等功率半導(dǎo)體對推進(jìn) “碳達(dá)峰&碳中和”戰(zhàn)略提供重要技術(shù)支撐。
報(bào)告中指出,高頻低壓最能體 現(xiàn) GaN 的高效優(yōu)勢!低壓是GaN基異質(zhì)結(jié)功率器件的未來優(yōu)勢領(lǐng)域,大尺寸Si基AlGaN/GaN增強(qiáng)型MIS-HEMT是GaN低壓功率芯片的發(fā)展趨勢。超薄勢壘Si基GaN技術(shù)是實(shí)現(xiàn)GaN基功率集成的良好平臺。
研究基于超薄勢壘AlGaN(<6nm)/GaN異質(zhì)結(jié)構(gòu),實(shí)現(xiàn)了無需刻蝕AlGaN的本征增強(qiáng)型MIS-HEMT,器件具有高閾值(~2.7 V)、良好的閾值均勻性以及較低的關(guān)態(tài)漏電,突破了P-GaN增強(qiáng)型HEMT的閾值瓶頸。
基于超薄勢壘AlGaN/GaN異質(zhì)結(jié)構(gòu)平臺實(shí)現(xiàn)了E/D模n溝道MIS-HEMT,低開啟電壓功率二極管,以及高擊穿電壓p/n溝道增強(qiáng)型MOSFET,為全GaN功率和射頻器件、數(shù)字/驅(qū)動電路的單片集成奠定了基礎(chǔ);Si基超薄勢壘MIS-HEMT技術(shù)路線是未來GaN智能功率超越摩爾發(fā)展的良好選擇。
CASICON 系列活動簡介
“先進(jìn)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)大會(CASICON)” 由【極智半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)網(wǎng)】主辦,每年在全國巡回舉辦的行業(yè)綜合活動?;顒泳劢瓜冗M(jìn)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展熱點(diǎn),聚合產(chǎn)業(yè)相關(guān)各方訴求,通過“主題會議+項(xiàng)目路演+展覽”的形式,促進(jìn)參與各方交流合作,積極推動產(chǎn)業(yè)發(fā)展。CASICON 系列活動將以助力第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)為己任,聯(lián)合實(shí)力資源,持續(xù)輸出高質(zhì)量的活動內(nèi)容,搭建更好的交流平臺,為產(chǎn)業(yè)發(fā)展貢獻(xiàn)應(yīng)盡的力量。
(備注:以上信息僅根據(jù)現(xiàn)場整理未經(jīng)嘉賓本人確認(rèn),僅供參考?。?/p>