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天津工業(yè)大學(xué)副教授李龍女:基于國(guó)產(chǎn)芯片的平面型封裝1700V碳化硅模塊開(kāi)發(fā)與性能表征

日期:2023-08-01 閱讀:679
核心提示:近日,2023功率與光電半導(dǎo)體器件設(shè)計(jì)及集成應(yīng)用論壇于西安召開(kāi)。論壇由第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟(CASA)指導(dǎo),西安交通

 近日,“2023功率與光電半導(dǎo)體器件設(shè)計(jì)及集成應(yīng)用論壇”于西安召開(kāi)。論壇由第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟(CASA)指導(dǎo),西安交通大學(xué)、極智半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)網(wǎng)(www.jycsgw.cn)、第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)主辦,西安電子科技大學(xué)、中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所、第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟人才發(fā)展委員會(huì)、全國(guó)半導(dǎo)體應(yīng)用產(chǎn)教融合(東莞)職業(yè)教育集團(tuán)聯(lián)合組織、西安和其光電股份有限公司等單位協(xié)辦。

李龍女

期間,天津工業(yè)大學(xué)副教授李龍女帶來(lái)了《基于國(guó)產(chǎn)芯片的平面型封裝1700V碳化硅模塊開(kāi)發(fā)與性能表征》的主題報(bào)告。

SiC/GaN器件具有低導(dǎo)通電阻、快速開(kāi)關(guān)、高耐壓、低開(kāi)關(guān)損耗和高工作溫度當(dāng)前亟需針對(duì)SiC器件/模塊的先進(jìn)封裝,需要?jiǎng)?chuàng)新低寄生/雜散阻抗、高散熱效率的高可靠封裝結(jié)構(gòu),以及高耐溫 (> 200oC), 高導(dǎo)電性和高可靠的封裝材料。

報(bào)告介紹了開(kāi)發(fā)采用全燒結(jié)銀互連和DBC的平面型封裝SiC功率模塊的研究成果,研究指出材料方面采用氮化鋁基板和燒結(jié)銀墊塊的封裝結(jié)構(gòu),可明顯降低雙面封裝結(jié)構(gòu)整體應(yīng)力,有利于提高模塊可靠性。封裝結(jié)構(gòu)方面采用模塊-C間隔排布MOS芯片和二極管方式,最高結(jié)溫更低,且各芯片間的溫度差異更小,且寄生電感較小,更有利于保持模塊性能?;谡n題組低溫納米銀燒結(jié)工藝,制備基于國(guó)產(chǎn)芯片的平面型封裝1700V碳化硅半橋模塊。模塊整體厚度約5 mm。通過(guò)測(cè)試,各柵源電壓下柵源漏電流均很小。70A輸出時(shí),漏源導(dǎo)通壓降為1.6V,與芯片I-V曲線一致,表明封裝過(guò)程寄生阻抗低,雙面互連也未引起芯片預(yù)損傷和老化退化。

CASICON 系列活動(dòng)簡(jiǎn)介

 “先進(jìn)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)大會(huì)(CASICON)”由【極智半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)網(wǎng)】主辦,每年在全國(guó)巡回舉辦的行業(yè)綜合活動(dòng)?;顒?dòng)聚焦先進(jìn)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展熱點(diǎn),聚合產(chǎn)業(yè)相關(guān)各方訴求,通過(guò)“主題會(huì)議+項(xiàng)目路演+展覽”的形式,促進(jìn)參與各方交流合作,積極推動(dòng)產(chǎn)業(yè)發(fā)展。CASICON 系列活動(dòng)將以助力第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)為己任,聯(lián)合實(shí)力資源,持續(xù)輸出高質(zhì)量的活動(dòng)內(nèi)容,搭建更好的交流平臺(tái),為產(chǎn)業(yè)發(fā)展貢獻(xiàn)應(yīng)盡的力量。

(備注:以上信息僅根據(jù)現(xiàn)場(chǎng)整理未經(jīng)嘉賓本人確認(rèn),僅供參考?。?/p>

 
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