8月10日，賽微電子發(fā)布關(guān)于控股子公司MEMS微振鏡通過驗(yàn)證并啟動(dòng)試產(chǎn)的公告。

據(jù)披露，2023年8月9日，因賽微電子控股子公司賽萊克斯微系統(tǒng)科技（北京）有限公司（簡(jiǎn)稱“賽萊克斯北京”或“北京FAB3”）代工制造的某款MEMS（即微電子機(jī)械系統(tǒng)，簡(jiǎn)稱為微機(jī)電系統(tǒng)）微振鏡通過了客戶驗(yàn)證，賽萊克斯北京收到該客戶發(fā)出的采購(gòu)訂單，啟動(dòng)首批MEMS微振鏡8英寸晶圓的小批量試生產(chǎn)。

MEMS微振鏡（也稱“微鏡”、“掃描鏡”）是指采用光學(xué)MEMS技術(shù)制造的，把微光反射鏡與MEMS驅(qū)動(dòng)器和傳感器集成在一起的光學(xué)MEMS器件。近年來，隨著智能化、電動(dòng)化、網(wǎng)聯(lián)化的加速發(fā)展，汽車傳感器市場(chǎng)持續(xù)擴(kuò)大，基于半導(dǎo)體制造工藝生產(chǎn)的先進(jìn)傳感器正在擴(kuò)大應(yīng)用。MEMS微振鏡是激光光束操縱的核心元器件，通過半導(dǎo)體制造工藝進(jìn)行集成化生產(chǎn)，能夠?qū)崿F(xiàn)激光雷達(dá)、激光顯示的小型化、低成本、高精度，助力推進(jìn)MEMS微振鏡在車載和AR/VR等領(lǐng)域的應(yīng)用。

近年來，賽萊克斯北京持續(xù)加大研發(fā)投入，自主積累基礎(chǔ)工藝，積極探索各類MEMS器件的生產(chǎn)訣竅，努力為全球通信、生物醫(yī)療、工業(yè)汽車、消費(fèi)電子等各領(lǐng)域客戶，尤其是中國(guó)本土客戶提供優(yōu)質(zhì)的MEMS工藝開發(fā)及晶圓制造服務(wù)，積極推動(dòng)公司在本土形成和提升自主可控的MEMS生產(chǎn)制造能力，加速國(guó)產(chǎn)替代。

不過，賽微電子指出，盡管已在多領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)MEMS制造技術(shù)的積累和突破，但公司北京FAB3在整體上仍處于運(yùn)營(yíng)初期，產(chǎn)線的產(chǎn)能爬坡、良率提升是一個(gè)持續(xù)的過程，產(chǎn)能擴(kuò)充及產(chǎn)量目標(biāo)的實(shí)現(xiàn)尚需一定時(shí)間。

（來源：集微）