8月22日,鑫華半導體1500噸硅基電子特氣項目開工儀式舉行。鑫華半導體消息顯示,該項目占地面積約500平方米,將于11月進行系統(tǒng)調(diào)試安裝,12月底完成試生產(chǎn)。
電子特氣是半導體、微電子、集成電路等電子信息產(chǎn)業(yè)的關鍵原材料。鑫華半導體依托自身閉環(huán)成套化的電子級多晶硅工藝生產(chǎn)技術,在生產(chǎn)電子級多晶硅的同時得到三氯氫硅,經(jīng)過特氣充裝站過濾得到高純電子級三氯氫硅,大幅降低生產(chǎn)制造成本。項目建成后將進一步提高原料利用率。
此外,鑫華半導體官方消息顯示,未來將專注于高端氣體的開發(fā)研究,打造規(guī)模化產(chǎn)業(yè)集群,致力于成為高純硅基電子特氣業(yè)務領軍企業(yè)。鑫華半導體是國內(nèi)率先系統(tǒng)掌握高純電子級多晶硅制備技術的企業(yè),該公司產(chǎn)品已通過國內(nèi)大部分領先的半導體硅片廠商認證,并形成規(guī)模化銷售,實現(xiàn)硅部件從特制尺寸到12寸硅片生產(chǎn)的全覆蓋。
(來源:集微)