5月12日，御微首臺掩?；迦毕輽z測產(chǎn)品Halo-100在御微合肥成功發(fā)運，并順利交付國內(nèi)先進掩模廠。

御微半導(dǎo)體官方消息顯示，其Halo-100設(shè)備是御微“掩模全生命周期質(zhì)量控制”產(chǎn)品線的第二款產(chǎn)品，以高精度光學(xué)系統(tǒng)、高穩(wěn)定性運動臺系統(tǒng)以及高潔凈度環(huán)控與傳輸系統(tǒng)為基礎(chǔ)，結(jié)合御微半導(dǎo)體專有的算法和軟件系統(tǒng)，實現(xiàn)了針對掩?；澹╞lank）缺陷檢測的需求，并將掩模檢測的應(yīng)用領(lǐng)域拓展至掩模廠來料檢和掩?；鍙S全制程控制檢。

據(jù)介紹，在掩?；鍙S中，Halo-100設(shè)備可以運用在玻璃基板來料檢、多層鍍膜過程檢和成品出貨檢等環(huán)節(jié)，助力客戶在每個制程節(jié)點監(jiān)測潔凈度情況。