11月4日，睿勵科學儀器完成近5億元戰(zhàn)略融資，本輪融資由金石投資和招商致遠聯(lián)合領投，資金將用于提升半導體制程用光學量檢測設備的國產替代能力，豐富產品種類，并加大市場開拓力度。 

睿勵科學儀器成立于2005年，專注于開發(fā)、生產和銷售具有自主知識產權及核心技術的光學量檢測設備，服務集成電路芯片制造工藝。作為國內首批半導體前道工藝國產設備公司，睿勵科學儀器也是國內首家專注于量檢測領域的半導體設備公司。 

睿勵科學儀器的主要產品包括薄膜測量、尺寸光學檢測設備，以及硅片厚度和翹曲測量設備等，現(xiàn)已成功進入三星和長江存儲的生產線，新研制的缺陷檢測設備也已在下游客戶中得到應用。 

在缺陷檢測方面，睿勵科學儀器推出了FSD系列、WSD系列和BriteSD系列設備，其中WSD系列是首款應用于半導體前道工藝并具備量產能力的國產缺陷檢測設備。目前，公司正在進行LED、顯示面板及化合物半導體領域的客戶驗證。 

據悉，WSD系列產品專為集成電路芯片及泛半導體工藝（如SiC、OLED、Micro LED等）設計，提供高精度光學晶圓外觀缺陷檢測，最高檢測精度可達100nm，兼容4~12英寸晶圓，支持明場和暗場檢測。 

值得一提的是，睿勵科學儀器與中微公司有著密切的合作關系。2023年，中微公司以5790.21萬元收購了睿勵科學儀器6.76%的股權，旨在促進產業(yè)鏈延伸并培育新的業(yè)務增長點。中微公司主要從事高端半導體設備及泛半導體設備的研發(fā)、生產和銷售，業(yè)務涵蓋半導體集成電路制造、先進封裝、LED外延片生產、功率器件、MEMS制造等領域。 

（來源：LEDinside）