隨著“雙碳”戰(zhàn)略推進(jìn)，第三代半導(dǎo)體在諸多場(chǎng)景的應(yīng)用將大增長(zhǎng)，真空設(shè)備作為其制造的“隱形護(hù)城河”，必將與材料創(chuàng)新、工藝升級(jí)等共同構(gòu)筑半導(dǎo)體的競(jìng)爭(zhēng)新優(yōu)勢(shì)。

日本真空技術(shù)株式會(huì)社(ULVAC)成立于1952年，經(jīng)過(guò)半個(gè)世紀(jì)的發(fā)展壯大，現(xiàn)已成為世界一流的集真空獲得設(shè)備、真空測(cè)量設(shè)備及真空應(yīng)用設(shè)備為一體的綜合性企業(yè)集團(tuán)。一直致力于真空設(shè)備和成膜工藝的一些解決方案的提供，一路走來(lái)，經(jīng)歷了早期的太陽(yáng)能光伏產(chǎn)業(yè)、LCD平板顯示行業(yè)、LED行業(yè)，功率半導(dǎo)體以及電池行業(yè)。隨著中國(guó)電子信息產(chǎn)業(yè)的不斷發(fā)展，ULVAC在中國(guó)也穩(wěn)定增長(zhǎng)。當(dāng)前，ULVAC 2024財(cái)年全球營(yíng)收近19億美金，其中國(guó)區(qū)市場(chǎng)份額占到了ULVAC集團(tuán)營(yíng)收的35%。

近日，ULVAC集團(tuán)執(zhí)行董事、中國(guó)區(qū)總裁楊秉君博士做客半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)網(wǎng)“芯友薈”直播間，分享了產(chǎn)業(yè)發(fā)展大勢(shì)下，真空設(shè)備企業(yè)的思考、發(fā)展探索，以及ULVAC的本土化策略。

當(dāng)前，第三代半導(dǎo)體處于火熱的發(fā)展?fàn)顟B(tài)，盡管隨著投資大量進(jìn)入，業(yè)界有碳化硅產(chǎn)能過(guò)剩的擔(dān)憂，但從終端產(chǎn)品應(yīng)用來(lái)看，真正進(jìn)入車(chē)規(guī)級(jí)的碳化硅器件還沒(méi)有看到。車(chē)規(guī)級(jí)碳化硅市場(chǎng)被認(rèn)為是最大的，個(gè)人認(rèn)為這部分市場(chǎng)還沒(méi)有真正爆發(fā)，后期市場(chǎng)的應(yīng)用前景會(huì)更廣闊。對(duì)于國(guó)內(nèi)廠家而言，需要考慮如何實(shí)現(xiàn)技術(shù)突破，降低成本，然后后期整個(gè)碳化硅市場(chǎng)可能會(huì)更可觀。

氮化鎵領(lǐng)域，無(wú)論是氮化鎵的功率器件還是通訊應(yīng)用，未來(lái)的市場(chǎng)會(huì)越來(lái)越大，隨著性能的不斷提升，比如耐壓能力提升，氮化鎵的市場(chǎng)應(yīng)用空間會(huì)不斷增加。

自2025開(kāi)年以來(lái)，全球面臨百年未有之大變局，國(guó)際地緣政治和經(jīng)貿(mào)格局秩序變化，對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)和企業(yè)有著重要的影響，增加了不確定性，供應(yīng)鏈風(fēng)險(xiǎn)加劇，也加速了半導(dǎo)體供應(yīng)鏈的區(qū)域化重組、體系重構(gòu)，甚至技術(shù)脫鉤。全球半導(dǎo)體供應(yīng)鏈呈現(xiàn)區(qū)域化趨勢(shì)。

ULVAC自2003年在蘇州建立全資子公司以來(lái)，已形成設(shè)備制造、材料生產(chǎn)、售后服務(wù)的完整產(chǎn)業(yè)鏈，扎根中國(guó)本土二十余年，從設(shè)備材料到工藝，可以提供更多的解決方案給中國(guó)客戶(hù)。對(duì)于中國(guó)市場(chǎng)的自主可控需求與國(guó)際全球化的技術(shù)協(xié)作，楊秉君表示，為中國(guó)客戶(hù)提供的設(shè)備工藝技術(shù)支持以及售后服務(wù)，可以做到自主可控，ULVAC在國(guó)內(nèi)圍繞著生產(chǎn)設(shè)備，擁有100多家合作緊密的供應(yīng)商，合作越來(lái)越緊密。

目前，ULVAC在全國(guó)有16家公司，給客戶(hù)提供的大部分的設(shè)備可以在中國(guó)本土生產(chǎn)制造。同時(shí)在全國(guó)有13個(gè)售后服務(wù)網(wǎng)點(diǎn)，有6個(gè)保稅倉(cāng)庫(kù)。從客戶(hù)服務(wù)體系來(lái)講，從提供設(shè)備到工藝支持以及售后服務(wù)，有完整的一套體系和網(wǎng)絡(luò)存在，本土化非常到位。

鑒于當(dāng)前全球政治化的因素，ULVAC在推行本土化的同時(shí)，也在推行部分全球化的戰(zhàn)略。比如國(guó)內(nèi)一些公司的產(chǎn)品，會(huì)有40~50%的份額出口到日本、東南亞、歐美地區(qū)，同時(shí)幫助合作伙伴出海，更加緊密的合作。“從過(guò)去的本土化戰(zhàn)略到今天的全球化戰(zhàn)略，大家可以更好的相輔相成”。

終端市場(chǎng)的需求，牽引著產(chǎn)業(yè)鏈不斷的升級(jí)突破，市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)也將日趨激烈。楊秉君認(rèn)為，不管是設(shè)備廠商還是材料廠商、零部件廠商，中國(guó)本土企業(yè)的提升和發(fā)展是必然的趨勢(shì)，可以促進(jìn)整個(gè)產(chǎn)業(yè)更好的升級(jí)，有競(jìng)爭(zhēng)是好事情，這樣可以促使企業(yè)進(jìn)步，把整個(gè)市場(chǎng)做得更大更強(qiáng)。從ULVAC的角度來(lái)講，希望能夠走在技術(shù)的更前沿，提高技術(shù)突破壁壘，不斷的創(chuàng)新，面對(duì)更多新的領(lǐng)域，把真空技術(shù)應(yīng)用到新的市場(chǎng)，為新的市場(chǎng)做更好的服務(wù)，開(kāi)拓應(yīng)用領(lǐng)域。

楊秉君表示，ULVAC會(huì)持續(xù)加大在中國(guó)市場(chǎng)的研發(fā)力量，現(xiàn)有一些工廠的智能化轉(zhuǎn)型和升級(jí)，也是希望能夠給中國(guó)客戶(hù)提供更多更好的解決方案，幫助客戶(hù)提升產(chǎn)品的良率、設(shè)備的稼動(dòng)率，去創(chuàng)造更多的價(jià)值，這個(gè)也一直是ULVAC所追求的目標(biāo)。“希望以后在中國(guó)銷(xiāo)售的ULVAC的產(chǎn)品全部都在中國(guó)本地生產(chǎn)制造。”

競(jìng)爭(zhēng)與發(fā)展，是每個(gè)企業(yè)的必考題。在楊秉君看來(lái)，ULVAC有幾十年真空技術(shù)的基礎(chǔ)和經(jīng)驗(yàn)，同時(shí)又有著對(duì)應(yīng)全球頭部企業(yè)的先進(jìn)工藝制程經(jīng)驗(yàn)，這種有機(jī)結(jié)合是ULVAC的一大優(yōu)勢(shì)。ULVAC是綜合性的真空設(shè)備廠商，從大型的真空設(shè)備到最基本的零部件，都有生產(chǎn)和制造。因?yàn)橛腥轿痪C合性的真空制造能力，所以ULVAC可以不斷的切換新的市場(chǎng)，能夠把真空技術(shù)不斷的應(yīng)用到新的市場(chǎng)，這是ULVAC的重要競(jìng)爭(zhēng)力所在。

楊秉君同時(shí)表示，人才都是企業(yè)發(fā)展核心競(jìng)爭(zhēng)力的重要因素，ULVAC非常重視人才以及人才教育的投入。除了內(nèi)部培養(yǎng)，ULVAC也與國(guó)內(nèi)部分研究機(jī)構(gòu)、大學(xué)等建立了聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室，共同進(jìn)行新工藝的開(kāi)發(fā)探索，不斷去突破技術(shù)壁壘。

這種合作模式在培養(yǎng)人才的同時(shí)，也有利于將國(guó)內(nèi)研究機(jī)構(gòu)的研發(fā)能力與愛(ài)發(fā)科技術(shù)研發(fā)的基礎(chǔ)更好的結(jié)合起來(lái)，產(chǎn)學(xué)研深入結(jié)合，推動(dòng)技術(shù)研發(fā)到產(chǎn)業(yè)升級(jí)的過(guò)程。

據(jù)了解，針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)的人才缺口，ULVAC特別推出“青苗計(jì)劃”人才培養(yǎng)體系，未來(lái)三年內(nèi)計(jì)劃面向高校開(kāi)設(shè)30個(gè)專(zhuān)項(xiàng)崗位，涵蓋設(shè)備研發(fā)、工藝優(yōu)化、供應(yīng)鏈管理等關(guān)鍵領(lǐng)域，構(gòu)建起“理論—實(shí)訓(xùn)—就業(yè)”的完整鏈條，為行業(yè)輸送兼具國(guó)際視野與本土經(jīng)驗(yàn)的新生力量。

SEMICON China 2025期間，ULVAC并創(chuàng)新地展示了與合作伙伴的最新產(chǎn)品成果，呈現(xiàn)了在TMR磁傳感器、PZT超聲波換能器、VOx非制冷紅外、新型微顯示以及GaN HEMT等方向的全面技術(shù)實(shí)力，獲得了來(lái)自業(yè)界同僚、客戶(hù)的廣泛關(guān)注及好評(píng)。

同時(shí)，發(fā)布多款新產(chǎn)品，包括新型多腔室薄膜沉積系統(tǒng)ENTRON-EXX、集群式先進(jìn)電子制造系統(tǒng)uGmni-300兩款面向先進(jìn)半導(dǎo)體制造的核心設(shè)備。產(chǎn)品以“靈活高效、智能協(xié)同”為核心設(shè)計(jì)理念，覆蓋晶圓制造、化合物半導(dǎo)體及封裝等關(guān)鍵領(lǐng)域，助力客戶(hù)實(shí)現(xiàn)技術(shù)突破與產(chǎn)能升級(jí)。

其中，uGmni系列以“統(tǒng)一傳輸核心”為核心，打造12英寸晶圓高度集成的電子制造平臺(tái)，實(shí)現(xiàn)了半導(dǎo)體芯片制造工序中的濺射、刻蝕、去膠、CVD等不同工藝的靈活搭配，可形成更加復(fù)雜的電路和芯片結(jié)構(gòu)。同時(shí)，uGmni還能根據(jù)客戶(hù)的實(shí)際工藝需求，提供不同尺寸的基板和不同形狀的對(duì)接方案型號(hào)，加速半導(dǎo)體從研發(fā)到量產(chǎn)的轉(zhuǎn)化周期。