日前，華特氣體與四川紅華實業(yè)正式簽訂了高純?nèi)壬a(chǎn)技術(shù)合作開發(fā)協(xié)議。其中，四川紅華實業(yè)為中國核工業(yè)集團有限公司全資孫公司。
據(jù)華特氣體官網(wǎng)中描述，高純?nèi)仁且环N新型蝕刻材料，主要用于芯片制程中的蝕刻、硅片和腔體清洗過程。且由于其氟碳比較高，氟離子自由基較強，這一氣體在先進制程中的應(yīng)用愈加廣泛，特別在14nm以下制程中具有不可替代的作用。
同時，華特氣體認為，相比于普通的氟碳蝕刻材料，高純?nèi)鹊腉WP值（全球變暖潛能值）極低，滿足了未來芯片制程向更環(huán)保、更可持續(xù)方向發(fā)展的需求。而此前，高純?nèi)犬a(chǎn)品市場主要為日本、美國企業(yè)所壟斷，國內(nèi)較少見到高純?nèi)瓤捎糜谛酒瞥痰膱蟮馈?/div>
據(jù)了解，華特氣體主營特種氣體的研發(fā)、生產(chǎn)及銷售。其生產(chǎn)的特種氣體包括高純四氟化碳、高純六氟乙烷、高純二氧化碳等，可用于集成電路、新型顯示面板、光伏能源、光纖光纜等電子產(chǎn)業(yè)的加工制造過程，如清洗、蝕刻、光刻等。根據(jù)其2020年業(yè)績快報，2020年華特氣體實現(xiàn)營業(yè)總收入9.98億元，同比增長18.29%，歸屬于上市公司股東的凈利潤1.05億元，較去年同期增長45.25%。
對于此次合作，華特氣體表示，紅華實業(yè)技術(shù)研發(fā)能力強、檢測手段齊全，雙方共同研發(fā)高純?nèi)认嚓P(guān)核心技術(shù)，能夠在這一領(lǐng)域打破國外壟斷，快速實現(xiàn)進口替代。未來，隨著半導(dǎo)體工藝的不斷升級迭代，高純?nèi)仍谛酒圃臁⒌谌雽?dǎo)體、面板等領(lǐng)域?qū)碛懈鼜V闊的市場潛力。
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