近日，南大光電在業(yè)績說明會上表示，公司ArF光刻膠產(chǎn)品開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化項目，目前已完成25噸光刻膠生產(chǎn)線建設(shè)，主要先進光刻設(shè)備，如ASML浸沒式光刻機等已經(jīng)完成安裝并投入使用。

 

南大光電稱，用于質(zhì)量檢測的光刻機等量測設(shè)備是國外進口的，公司已經(jīng)配備了，運轉(zhuǎn)良好，沒有被卡的顧慮。主要原材料是自己開發(fā)和生產(chǎn)的，沒有被卡風險。生產(chǎn)設(shè)備是聯(lián)合國內(nèi)企業(yè)研制的，也不存在被卡風險。

 

2020年底，南大光電自主研發(fā)的ArF光刻膠產(chǎn)品成功通過下游客戶的使用認證，成為通過產(chǎn)品驗證的第一只國產(chǎn)ArF光刻膠，各項光學性能均達到商用膠的水平，可實現(xiàn)先進光刻膠的國產(chǎn)替代，產(chǎn)業(yè)化取得關(guān)鍵突破，拿到國產(chǎn)光刻膠的首個訂單，實現(xiàn)小批量銷售。

 

據(jù)介紹，目前公司光刻膠產(chǎn)品正在繼續(xù)發(fā)往多個下游客戶進行驗證工作，驗證進展順利。測試中的ArF光刻膠可以用于邏輯芯片和存儲芯片。從目前測試結(jié)果看，ArF光刻膠性能上和日本產(chǎn)品達到同等水平，并實現(xiàn)了ArF光刻膠國產(chǎn)化和本土化，打破了 被國外長期壟斷的被動局面。

 

南大光電表示，公司研發(fā)并產(chǎn)業(yè)化的ArF光刻膠是國內(nèi)最先進的光刻膠。 光刻膠項目今年的主要任務(wù)是完成主要客戶認證，明年啟動量產(chǎn)，力爭盡早實現(xiàn)盈利。

 

在硅前驅(qū)體項目方面，南大光電仍在研發(fā)階段。目前實驗室建設(shè)已經(jīng)基本完成，研發(fā)工作正按計劃推進中，其中無氯TSA、3CDS兩個產(chǎn)品研發(fā)取得重大突破，產(chǎn)業(yè)化已進入準備階段。

 

在MO源行業(yè)方面，受LED行業(yè)的驅(qū)動，未來LED行業(yè)的發(fā)展機會也創(chuàng)造了MO源的增長空間；同時MO源在第三代半導(dǎo)體和新一代太陽能電池領(lǐng)域的應(yīng)用也為行業(yè)帶來了新的發(fā)展機遇。

 

南大光電稱，公司2021年第一季度的扣非凈利潤增長245%，主要是因為三大半導(dǎo)體材料的布局基本完成，前驅(qū)體和電子特氣業(yè)務(wù)發(fā)展迅速，MO源業(yè)務(wù)回升，光刻膠業(yè)務(wù)客戶認證順利推進。公司主營業(yè)務(wù)的增長趨勢良好，可持續(xù)。