據(jù)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局公告,盛美半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司申請(qǐng)一項(xiàng)名為“一種預(yù)濕腔內(nèi)外氣壓平衡控制裝置及方法“,公開號(hào)CN117423636A,申請(qǐng)日期為2022年7月。
專利摘要顯示,本發(fā)明提出一種預(yù)濕腔內(nèi)外氣壓平衡控制裝置及方法,通過(guò)在預(yù)濕腔上設(shè)置進(jìn)氣口和與進(jìn)氣口相連接的進(jìn)氣管道且進(jìn)氣管道連接預(yù)濕腔外部大氣壓,用以平衡預(yù)濕腔內(nèi)外的氣壓,無(wú)需另外設(shè)置安裝檢測(cè)部件,同時(shí)也無(wú)需對(duì)其進(jìn)行額外的操作,便能夠在預(yù)濕腔破真空后,打開預(yù)濕腔取出晶圓時(shí)很好地避免預(yù)濕腔內(nèi)壁上的水向外噴濺至預(yù)濕腔外部傳感器上,產(chǎn)生干擾的現(xiàn)象,達(dá)到預(yù)防傳感器發(fā)生誤警報(bào)的情況的發(fā)生,提高晶圓加工的效率。
(來(lái)源:金融界)