據(jù)企查查信息顯示，近日國內半導體檢測設備供應商常州煜輝半導體設備有限公司（簡稱：煜輝半導體）已順利完成近億元A輪融資。本輪融資由國內投資頭部企業(yè)——深圳市創(chuàng)新投資集團有限公司（簡稱：深創(chuàng)投）及紅土一號私募股權投資基金共同出資完成。        

本輪融資將用于下一代掩模檢測機臺STORM 5000、前道晶圓檢測Tornado 3000的研發(fā)及生產制造，下一代機型將應用于半導體制造更高制程，滿足國內大多數(shù)客戶業(yè)務需求。

常州煜輝半導體設備有限公司是一家以技術和市場驅動的半導體企業(yè)，其子公司江蘇維普光電是國內首家半導體光掩模檢測設備企業(yè)。公司總部位于江蘇常州高新區(qū)，是國內首家開發(fā)并商用的半導體掩模圖形缺陷檢測設備企業(yè)，公司產品包括：IC掩模檢測、FPD掩模檢測、晶圓檢測、晶圓及掩模量測3大領域5大類產品，其中，半導體掩模檢測STORM 系列設備，已全面應用于國內Maskshop客戶，對標業(yè)界頭部企業(yè)美國K公司、日本L公司部分機型，檢測精度、效率上超越對應型號機型，共累計出貨近40套，其中量產機型STORM 3000滿足130nm制程，交付中芯國際（上海）、華潤微、中微掩模、龍圖光罩、路維光電等國內頭部客戶，穩(wěn)定的性能表現(xiàn)帶來老客戶的連續(xù)復購與新客戶的一致認可。產品銷售涉及中國大陸及臺灣省、歐州等國家地區(qū)。

（來源：集微）