11月25日,按照第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟標準化委員會(CASAS)相關(guān)管理辦法,經(jīng)CASAS管理委員會投票通過2項氮化鋁晶片方面的團體標準立項建議,詳細信息如下:
秘書處將向CASAS正式成員發(fā)出征集起草單位的通知,組建標準起草小組,請CASAS正式成員關(guān)注秘書處郵件(casas@casa-china.cn)。
T/CASAS 055—202X 半導(dǎo)體材料紫外光電子能譜測試方法采用具有低能量、高分辨率的紫外光電子譜分析儀對InAs、GaSb、Si、InP進行紫外光電子能譜測試。本文件描述了半導(dǎo)體材料紫外光電子能譜測試的方法,包括目的、原理、要求、標準材料、樣品制備、程序、數(shù)據(jù)處理、報告。適用于半導(dǎo)體領(lǐng)域常用材料的紫外光電子能譜測試。 T/CASAS 056—202X 半導(dǎo)體材料紫外光電子產(chǎn)額譜測試方法采用具有低能量、連續(xù)可調(diào)的紫外光電子譜分析儀對InAs、GaSb、Si、InP進行紫外光電子產(chǎn)額譜測試,通過對四種材料的紫外光電子產(chǎn)額譜開3次方根,可以得到材料的離化能IP。本文件描述了半導(dǎo)體材料紫外光電子發(fā)射產(chǎn)額測試的方法,包括目的、原理、要求、標準材料、樣品制備、程序、數(shù)據(jù)處理、報告。適用于半導(dǎo)體領(lǐng)域常用材料的紫外光電子發(fā)射產(chǎn)額測試。