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九奕半導體設備取得光刻機送料機構專利,使硅片涂布更均勻

日期:2025-01-15 閱讀:268
核心提示:國家知識產(chǎn)權局信息顯示,九奕半導體設備(上海)有限公司取得一項名為一種光刻機的送料機構的專利,授權公告號CN 222330713 U,

國家知識產(chǎn)權局信息顯示,九奕半導體設備(上海)有限公司取得一項名為“一種光刻機的送料機構”的專利,授權公告號CN 222330713 U,申請日期為2024年4月。

專利摘要顯示,本實用新型公開了一種光刻機的送料機構,本實用新型涉及光刻機技術領域,包括送料裝置本體,送料裝置本體的頂部以及底部分別安裝有限位組件、調(diào)節(jié)組件和穩(wěn)定組件,調(diào)節(jié)組件包括驅(qū)動電機、固定板、涂膠輥以及連接柱,驅(qū)動電機的輸出端與固定板的一側花鍵連接,連接柱的一端轉(zhuǎn)動連接于固定板的另一側,并且固定板的內(nèi)部螺紋連接有螺紋栓,連接柱的另一端固定連接于涂膠輥的一端,本實用新型的優(yōu)點在于:通過對固定板位置的移動,來帶動連接柱以及涂膠輥進行同步運動,再配合螺紋栓將調(diào)節(jié)后固定板的位置進行固定,從而使得涂膠輥能夠根據(jù)不同的硅片厚度來調(diào)整自身與傳送帶之間的距離,使得硅片在涂布的過程中更加均勻。

天眼查資料顯示,九奕半導體設備(上海)有限公司,成立于2021年,位于上海市,是一家以從事批發(fā)業(yè)為主的企業(yè)。企業(yè)注冊資本100萬人民幣。通過天眼查大數(shù)據(jù)分析,九奕半導體設備(上海)有限公司專利信息8條,此外企業(yè)還擁有行政許可1個。

 

 

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