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鎵特半導體取得一種HVPE大尺寸氮化鎵晶圓鎵舟反應器專利,能夠提升氮化鎵晶圓片生長尺寸

日期:2025-03-31 閱讀:253
核心提示:國家知識產權局信息顯示,鎵特半導體科技(銅陵)有限公司取得一項名為一種HVPE大尺寸氮化鎵晶圓鎵舟反應器的專利,授權公告號CN

 國家知識產權局信息顯示,鎵特半導體科技(銅陵)有限公司取得一項名為“一種HVPE大尺寸氮化鎵晶圓鎵舟反應器”的專利,授權公告號CN 222684835 U,申請日期為2024年3月。

專利摘要顯示,本實用新型公開了一種HVPE大尺寸氮化鎵晶圓鎵舟反應器,包括:鎵舟;鎵反應室;主進氣管;副進氣口;氣體流通口,所述氣體流通口開設在多層反應室內除最底層的其余反應室內;鎵反應出口,所述鎵反應出口開設在鎵反應室的底部;混合室,所述混合室設置在鎵舟內部且位于鎵反應室的底部;反應主出口,所述反應主出口開設在混合室的底部中央?yún)^(qū)域;反應副出口,所述反應副出口開設在混合室的底部邊緣區(qū)域;主出氣管,所述主出氣管一端與混合室的底部連接將反應主出口和反應副出口分隔,另一端與鎵舟的底部中央連通;副出氣管。本實用新型的有益效果是主副出氣管排出的氣體,都能夠均勻的在襯底表面沉積,可以提升氮化鎵晶圓片生長尺寸。

天眼查資料顯示,鎵特半導體科技(銅陵)有限公司,成立于2017年,位于銅陵市,是一家以從事研究和試驗發(fā)展為主的企業(yè)。企業(yè)注冊資本42000萬人民幣,實繳資本4500萬人民幣。通過天眼查大數(shù)據(jù)分析,鎵特半導體科技(銅陵)有限公司參與招投標項目11次,專利信息31條,此外企業(yè)還擁有行政許可14個。

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