當(dāng)前全垂直GaN-on-Si功率MOSFET在高壓功率電子領(lǐng)域的應(yīng)用前景備受關(guān)注。其中，1.5 kV全垂直GaN-on-Si功率MOSFET仍處于技術(shù)攻關(guān)階段。已有研究通過優(yōu)化柵極溝槽工藝和背面銅層電鍍技術(shù)，實現(xiàn)了5 mΩ·cm²的低導(dǎo)通電阻和520 V擊穿電壓，但尚未達(dá)到1.5 kV耐壓目標(biāo)。

5月22-24日， “2025功率半導(dǎo)體器件與集成電路會議（CSPSD 2025）”將于南京舉辦。本次論壇由第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟（CASA）指導(dǎo)，南京郵電大學(xué)、極智半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)網(wǎng)（www.jycsgw.cn）、第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)共同主辦。南京郵電大學(xué)集成電路科學(xué)與工程學(xué)院（產(chǎn)教融合學(xué)院）、北京麥肯橋新材料生產(chǎn)力促進(jìn)中心有限公司承辦。電子科技大學(xué)、南京郵電大學(xué)南通研究院、蘇州鎵和半導(dǎo)體有限公司、揚(yáng)州揚(yáng)杰電子科技股份有限公司等單位協(xié)辦。 

會議設(shè)有開幕大會&主旨報告，以及硅及寬禁帶半導(dǎo)體材料、器件及集成應(yīng)用，超寬禁帶材料、器件及集成應(yīng)用，功率集成交叉與應(yīng)用，先進(jìn)封裝與異構(gòu)集成等4個平行論壇，將覆蓋晶圓造、芯片設(shè)計、芯片加工、模塊封裝、測試分析、軟件工具、設(shè)備制造、整機(jī)應(yīng)用等產(chǎn)業(yè)鏈各環(huán)節(jié)。  

屆時，山東大學(xué)集成電路學(xué)院/晶體材料全國重點(diǎn)實驗室教授、博士生導(dǎo)師劉超將受邀出席會議，并帶來《1.5 kV全垂直GaN-on-Si功率MOSFET》的主題報告，分享最新研究成果，敬請關(guān)注！

嘉賓簡介

劉超, 山東大學(xué)集成電路學(xué)院/晶體材料全國重點(diǎn)實驗室教授、博士生導(dǎo)師、國家重點(diǎn)研發(fā)計劃首席青年科學(xué)家、齊魯青年學(xué)者。2016年畢業(yè)于香港科技大學(xué)，獲電子與計算機(jī)工程學(xué)博士學(xué)位，2016年至2019年在瑞士洛桑聯(lián)邦理工學(xué)院從事博士后研究。主要研究興趣是寬禁帶半導(dǎo)體材料與器件，包括III族氮化物半導(dǎo)體的MOCVD外延生長、先進(jìn)器件制備工藝以及單片集成模塊的開發(fā)等。從事寬禁帶半導(dǎo)體GaN材料與器件研究十余年，有數(shù)項工作為世界首創(chuàng)及國際領(lǐng)先，研制了世界首枚垂直型硅基GaN晶體管，首次實現(xiàn)了垂直型GaN晶體管與續(xù)流肖特基二極管的單片集成，至今保持著垂直型硅基GaN功率MOSFET耐壓水平的世界記錄。迄今為止，主持“十四五”國家重點(diǎn)研發(fā)計劃青年科學(xué)家項目、國家自然科學(xué)基金等十余項科研項目以及華為、海信等公司多項橫向課題。在本領(lǐng)域權(quán)威期刊IEEE Electron Device Letters、IEEE Transactions on Electron Devices、Applied Physics Letters以及功率半導(dǎo)體頂級會議ISPSD等共發(fā)表論文90余篇，申請/授權(quán)發(fā)明專利30余件，其研究成果被IEEE Spectrum、Semiconductor Today、Compound Semiconductor等國際產(chǎn)業(yè)雜志亮點(diǎn)報道十余次。

山東大學(xué)寬禁帶半導(dǎo)體器件團(tuán)隊依托晶體材料國家重點(diǎn)實驗室、教育部新一代半導(dǎo)體材料集成攻關(guān)大平臺、國家示范性微電子學(xué)院等平臺開展研究，具有完備的氮化物材料外延與表征、器件設(shè)計與制備，以及性能測試條件。團(tuán)隊聚焦垂直型氮化物功率器件，取得了一系列突出成果：制備了世界首枚基于大尺寸、低成本硅襯底的垂直型GaN功率晶體管，突破了GaN單晶襯底尺寸小、價格貴的瓶頸難題；開發(fā)了1500 V完全垂直型硅基GaN溝槽MOSFET，拓展了硅基GaN功率器件在千伏級以上高壓、大功率應(yīng)用場景的可行性；首次報道了單片集成續(xù)流二極管的垂直型GaN功率晶體管，解決了器件在感性負(fù)載電路中的第三象限續(xù)流問題；制備了千伏級垂直型AlGaN功率P-i-N二極管以及肖特基二極管，利用III族氮化物材料體系較為成熟的p型摻雜技術(shù)，為超寬禁帶半導(dǎo)體器件的p型摻雜、電場調(diào)控以及結(jié)構(gòu)設(shè)計提供了新的思路和方案。相關(guān)工作獲得國家重點(diǎn)研發(fā)計劃、國家自然科學(xué)基金、山東省自然科學(xué)基金、廣東省自然科學(xué)基金、深圳市自然科學(xué)基金、深圳市協(xié)同創(chuàng)新科技計劃等多項縱向項目以及華為、海信等公司多項橫向課題支持。

 會議時間：5月22-24日

會議酒店：中國·南京·熹禾涵田酒店

組織機(jī)構(gòu)

指導(dǎo)單位：第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟（CASA）

主辦單位：南京郵電大學(xué)、極智半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)網(wǎng)（www.jycsgw.cn）、第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)

承辦單位：南京郵電大學(xué)集成電路科學(xué)與工程學(xué)院（產(chǎn)教融合學(xué)院）、北京麥肯橋新材料生產(chǎn)力促進(jìn)中心有限公司

協(xié)辦支持：電子科技大學(xué)、南京郵電大學(xué)南通研究院、蘇州鎵和半導(dǎo)體有限公司、揚(yáng)州揚(yáng)杰電子科技股份有限公司

大會主席：郭宇鋒

聯(lián)合主席：柏松 張波 趙璐冰

程序委員會：盛況 陳敬 張進(jìn)成 陸海 唐為華 羅小蓉 張清純 龍世兵 王來利 程新紅 楊媛 楊樹 張宇昊 劉斯揚(yáng) 章文通 陳敦軍 耿博 郭清 蔡志匡 劉雯 鄧小川 魏進(jìn) 周琦 周弘 葉懷宇 許晟瑞 張龍 包琦龍 金銳 姚佳飛 蔣其夢 明鑫 周春華 等

組織委員會

主 任：姚佳飛

副主任：涂長峰

成 員:張茂林 周峰 徐光偉 劉盼 王珩宇 楊可萌 張珺 王曦 羅鵬 劉成 劉宇 馬慧芳 陳靜 李曼 賈欣龍等

主題方向

1. 硅基功率器件與集成技術(shù)

硅基、SOI基功率器件、可集成功率器件、器件仿真與設(shè)計技術(shù)、器件測試表征技術(shù)、器件可靠性、器件制造技術(shù)、功率集成IC技術(shù)

2.碳化硅功率器件與集成技術(shù)

碳化硅功率器件、器件設(shè)計與仿真技術(shù)、器件制造技術(shù)、器件測試與可靠性、可集成器件與功率集成技術(shù)

3.氮化鎵、III/V族化合物半導(dǎo)體功率器件與功率集成

氮化鎵功率器件、III/V族化合物（AlN、GaAs）半導(dǎo)體功率器件、器件設(shè)計與仿真技術(shù)、器件制造技術(shù)、器件測試與可靠性、可集成器件與功率集成技術(shù)

4.氧化鎵/金剛石功率器件與集成技術(shù)

氧化鎵/金剛石功率器件、器件設(shè)計與仿真技術(shù)、器件制造技術(shù)、器件測試與可靠性、可集成器件與功率集成技術(shù)

5.模組封裝與應(yīng)用技術(shù)

功率器件、模組與封裝技術(shù)、先進(jìn)封裝技術(shù)與封裝可靠性

6.面向功率器件及集成電路的核心材料、裝備及制造技術(shù)

核心外延材料、晶圓芯片及封裝材料；退火、刻蝕、離子注入等功率集成工藝平臺與制造技術(shù)；制造、封裝、檢測及測試設(shè)備等

7.功率器件交叉領(lǐng)域

基于新材料（柔性材料、有機(jī)材料、薄膜材料、二維材料）的功率半導(dǎo)體器件設(shè)計、制造與集成技術(shù)；人工智能驅(qū)動的功率器件仿真，建模與設(shè)計、封裝與測試

會議日程總覽

最新報告嘉賓

備注：以下為目前部分報告嘉賓和議題，不分先后！

張進(jìn)成--西安電子科技大學(xué)副校長、教授

孫偉鋒--東南大學(xué)集成電路學(xué)院院長

唐為華--南京郵電大學(xué)教授、鎵和半導(dǎo)體董事長

用于XPU供電的DrMOS器件發(fā)展趨勢與技術(shù)挑戰(zhàn)

喬明--電子科技大學(xué)教授

用于XPU供電的DrMOS器件發(fā)展趨勢與技術(shù)挑戰(zhàn)

TBD--英諾賽科科技有限公司

TBD--揚(yáng)杰科技

王慶宇--新微半導(dǎo)體總經(jīng)理 

氮化鎵賦能未來，突破功率極限，開啟能效革命

陳敦軍--南京大學(xué)電子科學(xué)與工程學(xué)院副院長、教授

氧化鎵異質(zhì)結(jié)構(gòu)與器件

葉建東--南京大學(xué)電子科學(xué)與工程學(xué)院副院長、教授

氧化鎵異質(zhì)結(jié)構(gòu)與器件

魏進(jìn)--北京大學(xué)集成電路學(xué)院研究員

Multidimensional Devices in GaN and Ga2O3: Superjunction, Multi-channel, and FinFET

張宇昊 鞏賀賀--香港大學(xué)教授、博士后研究員

宋慶文--西安電子科技大學(xué)教授

面向功率器件制造的先進(jìn)離子注入解決方案：集成工藝與創(chuàng)新

王鶴鳴--愛發(fā)科（蘇州）技術(shù)研究開發(fā)有限公司研究員

高可靠GaN基MIS-HEMT功率器件與集成

黃森--中國科學(xué)院微電子研究所研究員

新能源時代半導(dǎo)體封測技術(shù)與趨勢

邢衛(wèi)兵--通富微電子股份有限公司/通富研究院Power技術(shù)中心負(fù)責(zé)人

功率器件封裝技術(shù)的發(fā)展及展望

朱正宇--熾芯微電子科技（蘇州）有限公司董事長&總經(jīng)理

面向車規(guī)應(yīng)用的功率之”芯”SiC及封裝技術(shù)挑戰(zhàn)

李道會--北京昕感科技(集團(tuán))副總，功率模塊事業(yè)部負(fù)責(zé)人

氮化鎵功率器件輻射效應(yīng)與加固技術(shù)研究

周 峰--南京大學(xué)副研究員

氮化鎵功率器件輻射效應(yīng)與加固技術(shù)研究 

宣融--南京百識電子科技有限公司總經(jīng)理

程新紅--中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)研究所研究員

寬禁帶半導(dǎo)體3D集成技術(shù)

鄧小川--電子科技大學(xué)教授

劉盼--復(fù)旦大學(xué)上海碳化硅功率器件工程技術(shù)研究中心副主任

施宜軍--工業(yè)和信息化部電子第五研究所高級工程師 

P-GaN HEMT柵極ESD魯棒性及改進(jìn)方法

彭燕--山東大學(xué)教授

High Breakdown Voltage Low Dynamic RON Non-etching E-mode GaN HEMTs with Oxidized In-situ p-GaN Layer as Passivation

張潔--西交利物浦大學(xué)芯片學(xué)院助理教授、本科專業(yè)負(fù)責(zé)人

1.5 kV Fully-Vertical GaN-on-Si Power MOSFETs

劉超--山東大學(xué)集成電路學(xué)院/晶體材料全國重點(diǎn)實驗室教授

GaN Monolithic Integration for Power Conversion Applications

朱昱豪--青海大學(xué)能源與電氣工程學(xué)院講師

Enhancement-mode (001) β-Ga2O3 Vertical Multi-fin Power Transistors

郭高甫--中國科學(xué)院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所

3 kV級超寬禁帶Diamond/ε-Ga2O3異質(zhì)p-n結(jié)二極管

章建國--中國科學(xué)院寧波材料技術(shù)與工程研究所博士

......更多報告嘉賓持續(xù)確認(rèn)更新中

參會及擬邀單位

中電科五十五所、電子科技大學(xué)、英飛凌、華虹半導(dǎo)體、揚(yáng)杰科技、士蘭微、捷捷微電、英諾賽科、中科院上海微系統(tǒng)所、氮矽科技、中科院微電子所、中科院半導(dǎo)體所、九峰山實驗室、三安半導(dǎo)體、芯聯(lián)集成、斯達(dá)半導(dǎo)體、中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)、浙江大學(xué)、東南大學(xué)、復(fù)旦大學(xué)、西安電子科技大學(xué)、清華大學(xué)、北京大學(xué)、廈門大學(xué)、南京大學(xué)、天津大學(xué)、長飛半導(dǎo)體、華為、溫州大學(xué)、明義微電子、海思半導(dǎo)體、瞻芯電子、基本半導(dǎo)體、華大九天、博世、中鎵半導(dǎo)體、江蘇宏微、蘇州晶湛、百識電子、超芯星、南瑞半導(dǎo)體、西交利物浦大學(xué)、西安理工大學(xué)、北京智慧能源研究院、高芯（河南）半導(dǎo)體、中科院納米所、平湖實驗室、北京工業(yè)大學(xué)、南方科技大學(xué)、華南師范大學(xué)、立川、國電投核力創(chuàng)芯、華中科技大學(xué)等……

活動參與：   

注冊費(fèi)2800元，5月15日前注冊報名2500元（含會議資料袋，23日午餐、歡迎晚宴、24日自助午餐及晚餐）

繳費(fèi)方式

①銀行匯款

開戶行：中國銀行北京科技會展中心支行

賬 號：336 356 029 261

名 稱：北京麥肯橋新材料生產(chǎn)力促進(jìn)中心有限公司

②移動支付

備注：通過銀行匯款/移動支付，請務(wù)必備注：單位簡稱+姓名+南京，以便后續(xù)查詢及開具發(fā)票。若需開具發(fā)票請將報名信息、轉(zhuǎn)賬憑證及開票信息發(fā)送至郵箱:lilyli@china-led.net。

掃碼預(yù)報名

備注：此碼為預(yù)報名通道，完成信息提交后，需要對公匯款或者掃碼支付注冊費(fèi)。

論文投稿及報告咨詢：

賈老師  18310277858  jiaxl@casmita.com

姚老師  15951945951  jfyao@njupt.edu.cn

張老師  17798562651  mlzhang@njupt.edu.cn 

李老師  18601994986  linan@casmita.com

贊助、展示及參會聯(lián)系：

賈先生  18310277858   jiaxl@casmita.com

張女士  13681329411  zhangww@casmita.com

投稿模板下載：投稿模板_CSPSD2025.docx    文章?lián)駜?yōu)推薦到EI期刊《半導(dǎo)體學(xué)報（英文）》。 

會議酒店

南京熹禾涵田酒店

協(xié)議價格：標(biāo)間&大床房，400元/晚，含早餐

地址：南京市浦口區(qū)象賢路158號

郵箱：503766958@qq.com

酒店聯(lián)系人

陸經(jīng)理 15050562332  025-58628888