南大光電近日發(fā)表公告稱，公司募投項(xiàng)目“光刻膠項(xiàng)目”受到多重因素影響，計(jì)劃將建設(shè)完成期限由原計(jì)劃2021年12月31日延長(zhǎng)至2022年12月31日。公司將繼續(xù)通過(guò)統(tǒng)籌協(xié)調(diào)全力推進(jìn)，力爭(zhēng)早日完成該項(xiàng)目建設(shè)。

 

具體原因方面，南大光電在公告中指出，項(xiàng)目在實(shí)際投入過(guò)程中受到新冠疫情、客戶驗(yàn)證需求變化、公司實(shí)際經(jīng)營(yíng)情況等多重因素的影響，尤其是項(xiàng)目所需的缺陷檢測(cè)等關(guān)鍵設(shè)備采購(gòu)周期延長(zhǎng)，安裝、調(diào)試工作也相應(yīng)后移，導(dǎo)致該項(xiàng)目建設(shè)進(jìn)度不及預(yù)期。

 

他們同時(shí)強(qiáng)調(diào)，截至2021年12月31日，項(xiàng)目已累計(jì)投入45,316.28萬(wàn)元，全部由公司自有資金出資。寧波南大光電在2021年具體實(shí)施項(xiàng)目時(shí)，為滿足項(xiàng)目建設(shè)所需采購(gòu)的付款進(jìn)度需要，優(yōu)先使用了自有資金投入建設(shè)。本項(xiàng)目剩余資金缺口，公司將繼續(xù)使用募集資金15,000.00萬(wàn)元滿足其投資需求。

 

據(jù)悉，南大光電ArF光刻膠開(kāi)發(fā)和產(chǎn)業(yè)化，是為配合推動(dòng)國(guó)家“02 專項(xiàng)”光刻膠技術(shù)開(kāi)發(fā)及產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目的開(kāi)展而設(shè)立，公司募投項(xiàng)目“光刻膠項(xiàng)目”總投資額為66,000.00萬(wàn)元，計(jì)劃使用募集資金15,000.00萬(wàn)元。項(xiàng)目實(shí)施主體為公司控股子公司寧波南大光電材料股份有限公司（以下簡(jiǎn)稱“寧波南大光電”）。主要包括兩條建設(shè)內(nèi)容：
 

圖片來(lái)源：南大光電公告截圖

 

 

建設(shè)內(nèi)容為建立光刻膠配套高純顯影液的規(guī)模化生產(chǎn)線，包括合成、純化、分析、灌裝等工藝的配套生產(chǎn)裝置及分析檢測(cè)設(shè)備；另外還將建設(shè)國(guó)內(nèi)首個(gè)先進(jìn)光刻膠分析測(cè)試中心，包含浸沒(méi)式光刻機(jī)、涂膠顯影一體機(jī)和 CD-SEM 等關(guān)鍵量測(cè)設(shè)備。項(xiàng)目完全達(dá)產(chǎn)后，將建成光刻膠研發(fā)中心、先進(jìn)光刻膠的分析測(cè)試中心，以及年產(chǎn) 350噸的高純顯影液的生產(chǎn)線。

 

 

建立包含高等級(jí)超凈間在內(nèi)的ArF光刻膠生產(chǎn)線，具備ArF光刻膠產(chǎn)品的生產(chǎn)能力；建立ArF光刻膠配套關(guān)鍵組分材料的生產(chǎn)能力，完善光刻膠原材料的供應(yīng)。項(xiàng)目完全達(dá)產(chǎn)后，將建成年產(chǎn)5噸ArF干式光刻膠的生產(chǎn)線、年產(chǎn)20噸ArF浸沒(méi)式光刻膠的生產(chǎn)線以及年產(chǎn)45噸的光刻膠配套高純?cè)噭┑纳a(chǎn)線。

 

南大光電公告同時(shí)指出，公司擴(kuò)建2,000噸/年三氟化氮生產(chǎn)裝置項(xiàng)目按原計(jì)劃繼續(xù)進(jìn)行，建設(shè)期不變。

 

此外，近日在接受投資者提問(wèn)“公司193nm光刻膠項(xiàng)目第二條生產(chǎn)線是否建設(shè)完畢，是否進(jìn)行投產(chǎn)，如還未完工預(yù)計(jì)何時(shí)完工？”時(shí)，南大廣電表示，公司目前已經(jīng)建成了兩條arf光刻膠生產(chǎn)線，合計(jì)產(chǎn)能為25頓。而公司的arf光刻膠也有少量發(fā)貨。

 

公開(kāi)資料顯示，193nm光刻膠作為當(dāng)前高端芯片制造中最為核心的原材料，被譽(yù)為半導(dǎo)體工業(yè)的“血液”，可以用于90nm~14nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)的集成電路制造工藝。