國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局信息顯示，江蘇超芯星半導(dǎo)體有限公司申請(qǐng)一項(xiàng)名為“一種 8 英寸碳化硅晶圓單面拋光方法”的專利，公開號(hào) CN 119635420 A，申請(qǐng)日期為 2024 年 12 月 。 

專利摘要顯示，本發(fā)明涉及 一種 8 英寸碳化硅晶圓單 面拋光方法，采用半徑小 于 8 英寸的陶瓷盤對(duì) 8 英 寸碳化硅晶圓進(jìn)行單面 拋光，通過(guò)合理設(shè)置晶圓 與陶瓷盤及拋光盤的距 離，確保拋光過(guò)程中的力 學(xué)平衡和高效拋光。拋光 布和槽體的優(yōu)化設(shè)計(jì)進(jìn) 一步增強(qiáng)了拋光液的流 動(dòng)性和均勻性。利用小尺 寸晶圓作為輔助工具，提高了拋光過(guò)程的穩(wěn)定性和加工靈活 性，使得拋光后的晶圓表面平整度滿足實(shí)際生產(chǎn)要求，同時(shí)顯 著降低了生產(chǎn)成本，提升了設(shè)備利用率和生產(chǎn)效率。本發(fā)明提 供了一種高效、低成本、靈活性強(qiáng)的碳化硅晶圓拋光方法，具有 顯著的經(jīng)濟(jì)效益和實(shí)用價(jià)值。

天眼查資料顯示，江蘇超芯星半導(dǎo)體有限公司，成立于2019年，位于南京市，是一家以從事研究和試驗(yàn)發(fā)展為主的企業(yè)。企業(yè)注冊(cè)資本1565.4879萬(wàn)人民幣，實(shí)繳資本785.7101萬(wàn)人民幣。通過(guò)天眼查大數(shù)據(jù)分析，江蘇超芯星半導(dǎo)體有限公司共對(duì)外投資了2家企業(yè)，參與招投標(biāo)項(xiàng)目9次，財(cái)產(chǎn)線索方面有商標(biāo)信息40條，專利信息57條，此外企業(yè)還擁有行政許可17個(gè)。