不久前，廣東工業(yè)大學省部共建精密電子制造技術與裝備國家重點實驗室傳來突破性進展。陳新/陳云教授團隊聯(lián)合蘇州邁為科技股份有限公司等行業(yè)龍頭企業(yè)，在Mini/MicroLED顯示領域關鍵核心技術與裝備研發(fā)上取得重大突破，相關成果已實現產業(yè)化應用，助力我國新型顯示產業(yè)高質量發(fā)展。

Mini/Micro LED 作為新一代顯示技術，兼具高亮度、高對比度、低功耗等優(yōu)勢，符合 “雙碳” 戰(zhàn)略導向，在消費電子、高端顯示等領域市場潛力巨大。然而，高效率、高良率的芯片巨量轉移及鍵合技術，長期以來是國際技術競爭焦點。

在國家重點研發(fā)計劃  “智能機器人” 專項支持下，廣東工業(yè)大學團隊發(fā)明二維高頻協(xié)同飛行刺晶新原理，通過  “飛行刺晶提速度、宏微復合保精度、定向補償增良率”   的技術組合拳，構建起覆蓋轉移方法、鍵合工藝、核心部件、系統(tǒng)控制的全鏈條自主技術體系。針對更小尺寸的 Micro LED   轉移難題，團隊進一步突破高速精密對位、激光工藝協(xié)同、誤差補償等關鍵技術，累計獲得 20 余項中美發(fā)明專利授權。

通過與泛半導體裝備頭部企業(yè)蘇州邁為股份的深度產學研合作，科研成果迅速轉化為現實生產力。雙方聯(lián)合研發(fā)的飛行刺晶巨量轉移機器人，實現了性能指標的跨越式提升，顯著降低原材料消耗與制造成本。

該裝備不僅在技術指標上達到國際領先水平，更實現了 Mini LED 巨量轉移生產線的批量出貨，為我國顯示產業(yè)裝上 “中國芯”。目前，相關裝備已在大屏顯示、會議一體機、家庭影院等商用與消費場景中規(guī)?；瘧?，推動我國高清顯示產業(yè)升級。

在突破  Mini LED 技術的同時，廣東工業(yè)大學和蘇州邁為股份子公司邁為技術（珠海）有限公司組成的聯(lián)合攻關團隊，瞄準 Micro LED   前沿領域，實現激光剝離、巨轉、鍵合、修復等設備國產化，G3.5 代線激光鍵合設備已交付客戶。團隊首創(chuàng)硅基 Micro LED   混合鍵合晶圓重構整體解決方案，覆蓋晶圓研拋、飛秒激光切割、等離子體加工、混合鍵合等全流程關鍵設備，將半導體集成技術與新型顯示創(chuàng)新融合，為超高清顯示大規(guī)模量產開辟了新路徑。（來源：人民日報）