天眼查顯示，西安奕斯偉材料科技股份有限公司“定盤(pán)溝槽清潔裝置、清潔方法和研磨設(shè)備”專利公布，申請(qǐng)公布日為2025年3月14日，申請(qǐng)公布號(hào)為CN119609919A。

 本發(fā)明涉及一種定盤(pán)溝槽清潔裝置、清潔方法和研磨設(shè)備，定盤(pán)溝槽清潔裝置包括：支撐架，支撐架的軸向方向上的頂端設(shè)置弧形滑軌，弧形滑軌所在的平面與支撐架的軸向方向相垂直；支撐臂，支撐臂的一端通過(guò)滑塊可移動(dòng)的連接于弧形滑軌上，支撐臂的另一端向遠(yuǎn)離弧形滑軌的方向延伸設(shè)置，支撐臂的延伸方向與弧形滑軌所在的平面相平行，支撐臂的外周面上設(shè)置直線型滑軌，直線型滑軌的延伸方向與支撐臂的延伸方向相平行；刮刀，可移動(dòng)的設(shè)置于直線型滑軌上；第一控制結(jié)構(gòu)，用于控制支撐臂沿著弧形滑軌滑動(dòng)，以使得刮刀的位置與定盤(pán)上待清潔溝槽的位置相對(duì)應(yīng)；第二控制結(jié)構(gòu)，用于控制刮刀沿著直線型滑軌移動(dòng)，以對(duì)定盤(pán)上待清潔溝槽進(jìn)行清潔。